程控勻膠機(jī)是一種高精度的旋轉(zhuǎn)涂布儀。主要用于高校、科研院所、研發(fā)中心等各類功能膜的研發(fā)，適用于半導(dǎo)體硅片、晶圓、ITO導(dǎo)電玻璃、光學(xué)玻璃、生物膜、制版等工藝的表面涂裝。
 

　　程控勻膠機(jī)的工作原理：
 

　　利用底片在片材夾持器上產(chǎn)生，待旋涂的基材吸附在片材夾上，膠液滴在基材表面上。離心力通過精確調(diào)整電機(jī)的轉(zhuǎn)速來改變。同時，膠流由膠滴裝置控制，從而達(dá)到制備膜所需的厚度。此外，旋涂時間、膠溶液粘度、涂層溫度和濕度等環(huán)境因素也會影響薄膜厚度。
 

　　它已廣泛應(yīng)用于MEMS微加工、生物、材料等領(lǐng)域。它可以用于制備厚度小于10nm的薄膜，并且經(jīng)常用于厚度約為1-100微米的光刻膠沉積層的光刻。勻膠機(jī)可以施加的膜厚度可以達(dá)到10納米至10微米的范圍，并且均勻性可以達(dá)到1%。
  

　　程控勻膠機(jī)的功能特點(diǎn)：
 

　　1、機(jī)身采用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕的不銹鋼制成，不生銹，易于清潔。
 

　　2、采用全彩7英寸觸摸屏控制面板，操作直觀、簡單、方便。
 

　　3、顯示了實(shí)時涂層速度和時間，設(shè)置參數(shù)的過程一目了然。
 

　　4、內(nèi)置計(jì)算機(jī)控制、Windows操作界面、USB接口和打印機(jī)等外部設(shè)備(可選)。
 

　　5、不銹鋼室、PTFE室(可選)。
 

　　6、定制的涂層程序和涂層步驟可以隨意更改。共有40個涂層程序，每個程序可設(shè)置40個步驟(可根據(jù)用戶要求隨意擴(kuò)展)。